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集团要闻

半导体行业的废水/超纯水处理解决方案

作者: 来源: 日期:2020/11/18 7:53:35 人气:1154
  半导体行业中的废水处理——从废弃物管理到资源回收

  为了蚀刻、沉积或清洁 半导体 层,半导体制造商在生产期间采用了多种多样的化学品。作为使用点减排技术的专家,中鼎联盛不仅可以提供工艺过程废气治理方面的丰富专业知识,而且还能提供实现完整废水处理的专业技术。

  结合废气与废水处理提高了半导体制造工艺过程的生态可持续性

  中鼎联盛提供针对半导体行业需求定制的产品组合。半导体行业制造在硅片上大量生产的存储芯片。其它产品包括用于特殊应用的集成电路(例如:发光二极管(LED/OLED))以及在晶片上采用复合半导体生产的高性能芯片,例如:砷化镓、氮化镓、磷化铟和碳化硅。在生产期间存在各种各样的工艺过程以及工艺过程废气和化学品,其中有一些被归类为温室气体,具有极端负面的气候影响。
  另一些则具有毒性和/或高易燃性。这就是为什么在任何情况下都不应该将这些物质释放到环境中的原因。多年以来,我们的系统确保了芯片制造满足保护人类生命与环境的高标准。我们极其熟悉针对纯度、可靠性和安全性的高要求。这是因为自从我们开业以来,半导体行业就成为了我们重要的客户之一。

  从超纯水到废水——中鼎联盛提供在半导体行业中长期积累的经验

  为了确保半导体制造设施中的安全运行,中鼎联盛开发了在废气起始点(使用点)直接处理废气的系统。为此,我们设计了组合燃烧器与洗涤器系统,该系统只需占用很少的空间,可以清除废气中的有害物质。根据过程管理,在燃烧阶段中会发生各种反应(氧化、还原或热解)。在后续的洗涤塔中,可溶性颗粒物及成分将被结合到洗涤液体中。
  因此将得到不含颗粒物的无害气体混合物,可以通过排气装置进行释放。我们将处理洗涤液体,并将在需要的情况下处理湿法工艺过程(例如:蚀刻和平面化)产生的废水。这包括对采用半导体化合物(例如:砷化镓)制成的晶片进行加工的生产线。
  凭借专门为每个制造场所制定的客户专用工艺过程,我们可以从废水中清除有害物质,使其低于法律要求的限值。为此,我们提供范围广泛的可靠工艺过程,可以从水中清除氟化物并对铵和有机物质进行降解。在将三价砷化物氧化为五价砷酸盐之后,砷可以被滤除或者通过沉淀得到清除。粒化氢氧化铁也可以用于清除砷。或者,可以采用掺杂活性碳分离砷及重金属。如果废水含有其它金属成分,则可以采用其它的个性化定向处理方法,例如:采用有机硫化物进行沉淀。
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