采用中鼎联盛的废气处理系统实现的安全TFT/LCD生产
制造 TFT/LCD 显示器需要进行废气处理。例如，在玻璃基板上生产大型薄膜晶体管（TFT）的工艺过程采用化学气相沉积（CVD）将薄膜分离到材料上。该过程需要定期清洗工艺室，并且通常会采用 NF 3 进行蚀刻。分离薄膜的蚀刻在通常情况下采用 CF 4 、 SF 6 和氯化气体，这将释放可以由燃烧/水洗系统或静电过滤器处理的大量废气混合物。由中鼎联盛设计的系统可以在工艺过程废气的起始点（使用点）对它们进行直接清洗，并可靠地减少危险物质。中鼎联盛专门为 TFT/LCD 行业开发了解决方案，可以安全地进行大批量处理，使废气满足法律要求。
危险废气的安全处理
在 TFT/LCD 行业的生产过程中积累的废气，包含了工艺气体硅烷（SiH4）、氨气（NH3）和一氧化二氮（N2O）的残留物。这些废气对环境以及生产设施的安全造成了显著的风险。在工厂的中央废气系统中混合不同的废气，通常会形成具有高易燃性或高爆炸性的气态混合物，这将造成严重的安全危害，因此必须始终加以避免。侵蚀性气体也会促使泵、阀门和管道加快腐蚀，从而进一步损害设施的安全性。废气流中包含的小颗粒物可能会沉积在管道内，并阻塞管道，这将导致增加维护，甚至引起停产。中鼎联盛废气治理技术以灵活的集成系统概念为基础。我们的最小型设备可以装进占地面积小于 1 平方米的机房内。中鼎联盛技术为全自动技术，采用传感器进行控制，并且可以满足高的认证安全标准。
